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mems是什么意思
发表于:2017-09-03
mems即微机电系统(英语:MicroelectromechanicalSystems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称...
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